Öldiffusionspumpen

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HSR Diffusionspumpen HSR VAKUUM GMBH -
- Hauptstraße 103b, 65375 Oestrich-Winkel, Deutschland

Rainer Löw, E-Mail, Tel. Fax

Firmenprofil:
Die Firma HSR Vakuum GmbH, seit Oktober 2008 in Oestrich-Winkel bei Wiesbaden vertreten, ist ein Tochterunternehmen der Liechtensteiner HSR AG in Balzers. Die HSR AG produziert und vertreibt Kryo-, Diffusions- und UHV-Pumpen sowie das entsprechende Zubehör und Betriebsmaterial.
Produkte:   Öl-Diffusionspumpen

Kryopumpen, UHV-Pumpen, Baffle, LN2-Zubehör, Service, Ersatzteile und HV-Pumpenöle


VARIAN Öldiffusionspumpe VARIAN Deutschland GmbH -
Alsfelder Straße 6, 64289 Darmstadt, Deutschland

E-mail, Tel. Fax

Firmenprofil:
Die Varian, Inc. gilt weltweit als innovativer Marktführer im Bereich Life Science und Instrumentelle Analytik mit über 50 Jahren Erfahrung.
Produkte:   Diffusionpumpen

Hochvakuumpumpen: Diffusionpumpen, Ionengetterpumpen, Turbomolekularpumpen,
Turbopumpsysteme, Systeme, Zubehör und Service
Lecksuchgeräte, Vakuummessung, Ventile, Vakuumkomponenten.




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Die Öldiffusionspumpe ist eine Hochvakuumpumpe. Sie hat keine beweglichen Teile und ist daher sehr zuverlässig und wartungsfreundlich. Sie ist eine Weiterentwicklung der von Gaede 1916 vorgestellten Diffusionspumpe mit Quecksilber als Treibmittel.

Die Pumpe besteht aus einem zylindrischen wasser- oder luftgekühlten Pumpenkörper. Um den Temperaturunterschied zu erhöhen, wird zur Kühlung auch flüssiger Stickstoff (unter 77 K) verwendet. Der Boden des Pumpenkörpers ist beheizt (meist elektrisch). Darüber liegt der Siederaum mit dem Treibmittel. Im Siederaum steht das Düsensystem, durch welches das erhitzte Treibmittel mit hohem Druck strömt. Es treten drei bis vier kegelförmige Dampfstrahlen (jeweils eine Pumpstufe) aus, welche an den kalten Wänden kondensieren.

Gasmoleküle, die in den Dampfstrahl gelangen, werden mitgerissen und so nach unten in einen Bereich höheren Druckes gefördert. Dort befindet sich als Ausgang aus der Diffusionspumpe der Vorvakuumstutzen. Durch das Heizen des Treibmittels treten die Moleküle wieder aus und werden von der Vorvakuumpumpe (z. B. Drehschieberpumpe) abgepumpt.

Die Gasmoleküle können zwar spontan aus dem Treibmittel austreten, jedoch ist es ihnen nicht möglich, in eine tiefere Druckstufe zu gelangen (d. h. zurück zum Rezipienten).

Öldiffusionspumpen benötigen einen Vorvakuumdruck von ca. 0,1 mbar; sie erreichen Enddrücke bis ca. 10-9 mbar, je nach Dampfdruck des Treibmittels.

Die Art des Treibmittels ist entscheidend. Normalerweise werden Mineralöle, die unter Hochvakuum von den Bestandteilen mit hohem Dampfdruck befreit wurden, eingesetzt. Solche Öle haben Dampfdrücke zwischen 5*10-7 und 2*10-8 mbar bei Zimmertemperatur und eine gute Oxidationsbeständigkeit. Bei höheren Ansprüchen an Dampfdruck (Endvakuum) oder Oxidationsbeständigkeit werden Silikonöle, bestimmte Ester oder Pentaphenylether (Dampfdruck: 10-10 mbar) eingesetzt.

Als Treibmittel wurde früher ausschließlich Quecksilber verwendet. Abgesehen davon, dass Quecksilberdampf giftig ist, hat Quecksilber bei Kühlwassertemperatur einen relativ hohen Dampfdruck (ca. 10-3 mbar). Man müsste also eine Kühlfalle zwischen Pumpe und Vakuumbehälter schalten, um den Dampfdruck auf hinreichend niedrige Werte zu reduzieren. Quecksilber-Diffusionspumpen werden nur noch in Sonderfällen benutzt, z. B. wenn in dem zu evakuierenden Behälter ohnehin schon Quecksilber vorhanden ist und deshalb keine Kühlfalle dazwischen geschaltet werden muss.

Öle sind in der Vakuumtechnik grundsätzlich sehr unbeliebt. Um eine Ölrückströmung in den Rezipienten zu verhindern, werden Düsenhutdampfsperren (Cold Cap) und/oder Schalendampfsperren (Baffle) zwischen Rezipient und Pumpe geschaltet. Dampfsperren bestehen aus gekühlten Prallplatten, die das direkte Durchfliegen von Ölmolekülen verhindern.

Erhebliche Nachteile dieses Pumpentyps sind lange Aufheiz- und Abkühlzeiten. Um diese im Chargenbetrieb (wenn Behälter wiederholt geöffnet und geschlossen wird) zu umgehen, wird mit einer Umgehungsleitung (Bypass) der Rezipient vorevakuiert, bevor die Öldiffusionspumpe zugeschaltet wird.

mehr über Öldiffusionspumpen (Wikipedia)