Sputterquellen    Sputtering Targets       Vakuum-Beschichtungsanlagen     Europe, Middle East and Africa    North and South America     Asia Pacific      Belgium     France     Deutschland     Italy     Switzerland     United Kingdom     FHR Anlagenbau GmbH - Am Hügel 2, 01458 Ottendorf-Okrilla, Deutschland E-Mail, Tel. Fax products: Doppelring - Magnetronquelle Doppelring-Magnetron-Quellen sind rotationssymetrische planare Quellen, die aus einer inneren Scheibe und einem äußeren Ring bestehen. Durch den Einsatz von Doppelring- Magnetrons wird es möglich, größere Substratdurchmesser (oberhalb 100 mm) mit einer hohen Schichtdickenhomogenität stationär zu beschichten: - Substratgröße 6" bei stationärer Beschichtung - DC, HF, MF - Sputtern, - Targets elektrisch leitend oder isolierend, - Getrennte Magnetfeldregelung, - integrierter Gaseinlaß. Site Map  www.vacuum-guide.com