| UHV Manipulatoren und Transferstangen
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VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH - www.vacom.de - Gabelsbergerstraße 9, 07749 Jena, Germany
E-Mail: info@vacom.de, Tel. +49 (3641) 4275-0, Fax +49 (3641) 4275-24
Produkte:
Drehdurchführungen mit Magnetofluid-Dichtung, Drehdurchführungen mit magnetischem Antrieb,
Manipulatorkomponenten,
Heizer und Manipulatoren für die Waferbeschichtung, Transferstangen, Ersatzteile.
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MEWASA FLEX GmbH - www.mewasaflex.de - Kirchweg 3, 34317 Habichtswald, Deutschland
Kurt Boden, E-Mail: info@mewasaflex.de, Tel. +49 (5606) 563 174 , Fax +49 (5606) 563 175
Produkte:
Manipulatoren
Geräte die von außen in einem Vakuumgerät z.B. einer Vakuumkammer die Positionierung und Bewegung von Proben erlaubt.
Proben können in 5 Achsen bewegt werden, in der Hauptbewegungsachse, z-Richtung, quer dazu in x-Achse und y-Achse, drehbar um die z-Achse und weiterhin kippen um x oder y-Achse.
Die Proben können gekühlt werden mit Helium oder Stickstoff oder geheizt bis auf 1300°C.
Manipulatoren stehen als Baukastensystem mit den Dimensionen Durchmesser von CF16 bis CF100 und Länge von 50 bis 1000mm zur Verfügung.
UHV-Lineardurchführungen arbeiten in der z-Achse. Schrittmotorangetrieben oder manuell betätigt bewirken qualitativ hochwertige Werkstoffe und die sorgfältige Auswahl aller Komponenten den sicheren Vorteil für ihre Anwendung.
Firmenprofil:
MEWASA FLEX GmbH ist die Vertriebsorganisation der MEWASA AG (CH).
In Zusammenarbeit mit Partnerfirmen wird eine vielfältige Produktpalette für die Vakuumtechnik hergestellt.
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Caburn MDC Europe Ltd. - www.caburn.co.uk - 44227 Castrop-Rauxel, Deutschland
Herr Althoff, E-Mail: sales@caburn.co.uk, Tel. +49 (0)2305 947 508
Produkte:
Manipulatoren
Firmenprofil:
Caburn-MDC Europe, together with MDC and ISI, aims to provide the most complete range of high- and ultra-high vacuum components to the European scientific community.
From basic flanges to innovative valves, feedthroughs and deposition equipment, our comprehensive online catalogue can provide you with details on a wide range of standard products, all fully specified and priced online. Many of our products are available for rapid delivery.
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MICOS GMBH - www.micos.ws - Freiburger Strasse 30, 79247 Eschbach, Deutschland
Charly MAUCHER, Email: charly.maucher@micos-online.com, Tel. +49 7634 5057 232, Fax +49 7634 5057 393
Produkte:
HV und UHV Manipulators:
Cryo stages, Vacuum motors, Linear stages, Rotary stages, Multiaxes/Hexapod, Controller, Optical benches, Manual stages, Laser Education kits, Customized systems.
Firmenprofil:
Die MICOS GmbH mit Sitz in Eschbach bei Freiburg wurde 1990 gegründet. Das Unternehmen entwickelt und fertigt Komponenten sowie ganze Systeme der Ultra-Präzisions- und Lasertechnik. Dazu zählen Mikropositioniersysteme, Positioniergeräte, Positions- und Schrittmotorensteuerungen und Vakuum-Komponenten. In der Praxis werden solche Apparaturen zum Beispiel eingesetzt, um einen Laserstrahl, der einen winzigen Mikrochip punktgenau belichten soll, mit höchster Präzision auszurichten.
Die MICOS GmbH vertreibt ihre Produkte weltweit – über Niederlassungen in Europa, in den USA, im Nahen sowie im Fernen Osten. Führende Industrieunternehmen sowie Forschungsinstitute der Universitäten und Fraunhofer Gesellschaften gehören zu ihren Kunden.
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BeamTec GmbH - Blautalstr. 10, 89134 Blaustein, Deutschland
Ralph Kempter,
Produkte:
Vakuum-Drehdurchführungen, Ferrofluid-gedichtete Drehdurchführungen
BeamTec hat sein Produktprogramm um eine breite Palette von Drehdurchführungen mit magnetischer Dichtungstechnologie erweitert. Die hermetische Dichtung wird dabei mittels O-Ringen aus magnetischer Flüssigkeit um die Welle erzeugt.
Typische Anwendungsgebiete sind Vakuumapplikationen, die eine Drehbewegung in Vakuumsystemen wie für Substrathalter, Transportrollen oder Schwenkblenden erfordern.
Unsere Standardprodukte umfassen Vollwellen- und Hohlwellen-Drehdurchführung ; Andere Konfigurationen sind auf Anfrage erhältlich.
Firmenprofil:
Konzeption von innovativen Komponenten der Vakuumtechnik,
Im-/Export von Produkten der Vakuum- und Dünnschichttechnik
Systemberatung und -Konzeption,
Prozessunterstützung,
Service.
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valves,
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