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MKS Instruments Deutschland GmbH - www.mksinst.com - Schatzbogen 43, 81829 München, Deutschland
Johannes Overhues, Vertriebsleitung, E-Mail: johannes.overhues@mksinst.com, Tel. +49 (89) 420 008-0, Fax +49 (89) 424 106
Prodikte:
Gas Analyzers - Mass Spectrometry: Quadrupole Mass Spectrometer, Residual Gas Analysis, Process Monitor and Process Control Products
MKS Mass Spectrometry gas analyzer products are innovative in-situ process monitoring instruments that are fully integrated, application-specific packages, including component residual gas analyzers (RGAs), web-enabled RGA's, analytical equipment, and process RGAs and control software.
For general residual gas analysis, the performance of MicroVision Plus residual gas analyzer, coupled to the wide range of configurations available, make it the ideal choice for many different residual gas analyzer applications, including ultra high vacuum (UHV), such as vacuum coatings, accelerators and high energy physics, harsh environments, such as high temperature and ionizing radiation, high performance, research and development for high mass species studies, and high resolution studies, including low molecular weight species studies and helium from Deuterium studies.
Firmenprofil:
MKS Instruments ist ein weltweit führender Hersteller von Komponenten und Systemen für die Vakuumprozesstechnik.
Wir liefern Komponenten zur Massenflussregelung, Druckmessung und Druckregelung, modulare Einheiten für die Gasversorgung, Vakuumverrohrungen (speziell für die Anforderungen in der Halbleiterindustrie), sowie Systeme zur Prozessüberwachung.
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Leak Detection Service GmbH - www.lds-europe.com - Fraunhoferstr. 11, 82152 Martinsried /Planegg, Deutschland
E-Mail: service@leak.detection-service.de, Tel. +49 89 958990-0, Fax +49 89 958990-29
Michael Kniebeler, Geschäftsführer, E-Mail: kniebeler@leak-detection-service.de
Produkte:
ULVAC Restgasanalyse-Geräte: Qulee CGM Serie (Massen 1-50), Qulee BGM Serie (Massen 1-100), Qulee QCS Software
"Qulee" (KLEE Ausgesprochen) ist ULVACīs modernstes Gerät zur Restgasanalyse. Genaueste Messungen und beste Auflösung sind schon ab einem Druck von 1 Pa möglich. Die Bedienung ist, typisch für ULVAC, bedienerfreundlich vereinfacht. Hier wurden sehr viele Wünsche der betreiberseitigen Ingenieure verwirklicht.
Wichtigste Innovation im Bereich der Bedienung ist sicherlich das erstmals am Gerät befindliche Display welches Messergebnisse direkt und ohne Verwendung eines externen PCīs anzeigt.
Firmenprofil:
Seit Anfang 2003 ist die Leak Detektion Service GmbH professioneller Partner von Industrie, Forschung und öffentlichen Einrichtungen wenn es um Helium- oder Luftlecksuche oder Oberflächenmessysteme geht. Haupteinsatzgebiete sind dabei Deutschland, Österreich und die Schweiz sowie Teile der neune, osteuropäischen Länder.
In Service und Reparatur betreuen wir Geräte aller Hersteller wie z.B. ULVAC, VIC/Veeco (auch ältere Systeme), Alcatel/ Adixen, Pfeiffer, Inficon, Varian und Andere. Dabei greifen wir auf die jahrzehntelange Erfahrung unserer Mitarbeiter zurück.
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PFEIFFER Vacuum GmbH - Berliner Str. 43, 35614 Aßlar, Deutschland
E-Mail, Tel. Fax
products:
PrismaPlus™ mass spectrometer,
Applications: The PrismaPlus™ can be optimally employed for leak detection, residual gas analysis or complex, quantitative analyses:
Metallurgy, Vacuum furnaces, Accelerators, Sputter process analysis, Semiconductor production, Glass coating, Research and development, Vacuum process systems.
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www.vacuum-guide.com
Keywords
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