Hersteller und Lieferanten

• Turbomolekularpumpen Hersteller

FAQ (Häufig gestellte Fragen)

• Was ist eine hybride Turbomolekularpumpe?
Eine Turbomolekularpumpe arbeitet nur im molekularen Strömungsbereich und benötigt eine Vorpumpe mit sehr großer Förderleistung, um effizient zu arbeiten.
Hybride Pumpen kombinieren, auf derselben Welle, eine Turbomolekularpumpe (TMP für Turbo Molecular Pump) mit einer oder mehreren Molekularpumpstufen (DMP), die meist als Holweck-, sog. Dragstufen, ausgeführt sind. Der Einsatz der MDP am Auslass der TMP ermöglicht es, die erforderliche Größe der Vorpumpe zu reduzieren.

• Kugellager oder magnetische Levitation?
Die extrem hohe Rotordrehzahlen von bis zu 90.000 U/min der Turbopumpen führen zu starken mechanischen Belastungen, insbesondere an der Rotorbaugruppe, und auf die Wellenlager. Um diesen mechanischen Belastungen standzuhalten und einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten, werden verschiedene Lagerkonfigurationen angeboten: mechanische, magnetische und Hybridlager.

Die meisten Hersteller bieten leichte Keramik-Kugellager mit Fettschmierung an, da diese Kombination sowohl ein geringes Gewicht aufweist, was das Trägheitsmoment des Lagers reduziert, als auch einen niedrigen Dampfdruck des Schmiermittels bei der Betriebstemperatur der Pumpe besitzt.
In jüngerer Zeit haben Hersteller begonnen, magnetisch gelagerte Systeme anzubieten, die entweder permanente Magnete für kleinere Pumpen oder eine Kombination aus permanenten und dynamischen Magnetfeldern verwenden, um die Welle berührungslos zu tragen.

Magnetisch gelagerte Pumpen verfügen über berührungslose Lager, was zu einer Turbopumpe ohne jeglichen Rückstrom von Öldampf führt, mit Lagern, die keinem Verschleiß unterliegen. Der Einsatz magnetischer Lager hat es ermöglicht, die Umfangsgeschwindigkeit des Rotors an der Schaufelspitze von etwa 150 m/s auf über 500 m/s zu erhöhen.

Turbopumpen mit Hybridlagerung kombinieren diese zwei Lagerkonzepte: Auf der Vorvakuumseite schützt ein Keramikkugellager den Rotor vor externen Schwingungen. Auf der Hochvakuumseite hält eine Permanentmagnet-Lagerung den Rotor in Schwebe ohne Kontakt zum Pumpengehäuse, wie bei magnetisch gelagerten Turbopumpen.