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ONLINK Technologies GmbH - www.onlink.de - Porschestr. 12, 63512 Hainburg, Deutschland
Klaus Schafsteck, Email: info(at)onlink.de, Tel. +49 (0)6182-935116, Fax +49 (0)6182 935111
Produkte:
Messgeräte für die Dünnschicht-Industrie
Optischer Monitor OMD-8000
In-situ, real time Photometer für feinoptische Beschichtungen
Optisches Monitoring misst die wahre optische Dicke und nicht die aufgedampfte oder beschichtete Masse wie bei einem Quartz Monitoring. Deshalb bedarf es in der Präzisions- und Feinoptik immer einer Kombination von beiden Messmethoden - Quartz Monitoring und Optisches Monitoring.
Das OMD-8000 mit dem entsprechenden Zubehör bietet auf Wunsch beide Messmethoden in einem Gerät um auch Ihrem Prozess die notwendige Präzision und Genauigkeit zu verleihen.
Firmenprofil:
ONLINK Technologies ist seit 1993 spezialisiert die Vakuum- und Dünnschicht-Industrie mit hochwertigen Komponenten, Dienstleistungen und Anlagen zu versorgen.
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Mikropack GmbH - Maybachstrasse 11, 73760 Ostfildern, Deutschland
E-Mail:
Produkt:
Unsere Dünnschicht Mess- und Plasma Kontrollsysteme sind sehr kompakte, präzise, modulare und flexible Tischgeräte.
Das PlasCalc-2000 Plasma Monitoring- und Prozess Kontroll-System basiert auf der optischen UV/VIS/NIR Emissions-Spektroskopie.
Das System kann für alle produktionstechnischen Bedürfnisse flexibel programmiert werden.
Firmenprofil:
Mikropack ist Hersteller von UV/VIS/NIR Reflektometern, spektroskopischen Ellipsometern, sowie Plasma Monitoring und Prozess Kontroll Systemen basierend auf der Optischen Emmissions Spektroskopie (OES).
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PAS Plasma Analytics Systems GmbH - Rheingaustrasse 25 - 12161 Berlin, Germany
Dr. Friedhelm Heinrich, E-Mail:
Produkt:
MPM2S Dual Spectrometer - Process Monitor ; MPM1S/4 Spectrometer - Multichannel Process Monitor
MPM16 Multichannel Process Monitor
MPMXS4 Multichannel Film thickness and Endpoint Monitor:
4-channel spectroscopic process monitor for spatially resolved film thickness and rate measurement in dry and wet etching, end point detection, optical emission spectroscopy, chemical analysis
Firmenprofil:
The PAS Plasma Analytics Systems GmbH is a young, technology oriented company that has been established as a specialist for optical measuring systems for users in industry and research. Our starting point and key competence is a profound knowledge and experience in plasma-based technologies such as dry etching and deposition for microelectronics and for flat panel display technology.
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Suchwörter
www.vacuum-guide.com
Sputtering sources
Sputtering targets
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