Dünnschicht Messtechnik

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Messgeräte für die Dünnschicht-Industrie        Dünnschicht Messtechnik

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ONLINK Messgeräte für die Dünnschicht-Industrie ONLINK Technologies GmbH - www.onlink.de
- Porschestr. 12, 63512 Hainburg, Deutschland

Klaus Schafsteck, email: info(at)onlink.de, Tel. +49 (0)6182 935116

ONLINK Technologies ist seit 1993 spezialisiert die Vakuum- und Dünnschicht-Industrie mit hochwertigen Komponenten, Dienstleistungen und Anlagen zu versorgen.
Products:   Messgeräte für die Dünnschicht-Industrie

Optischer Monitor OMD-8000
In-situ, real time Photometer für feinoptische Beschichtungen
Optisches Monitoring misst die wahre optische Dicke und nicht die aufgedampfte oder beschichtete Masse wie bei einem Quartz Monitoring. Deshalb bedarf es in der Präzisions- und Feinoptik immer einer Kombination von beiden Messmethoden - Quartz Monitoring und Optisches Monitoring. Das OMD-8000 mit dem entsprechenden Zubehör bietet auf Wunsch beide Messmethoden in einem Gerät um auch Ihrem Prozess die notwendige Präzision und Genauigkeit zu verleihen.


Dünnschicht Messtechnik Mikropack GmbH -
- Maybachstrasse 11, 73760 Ostfildern, Deutschland

email:

Mikropack ist Hersteller von UV/VIS/NIR Reflektometern, spektroskopischen Ellipsometern, sowie Plasma Monitoring und Prozess Kontroll Systemen basierend auf der Optischen Emmissions Spektroskopie (OES).
Produkt:
Unsere Dünnschicht Mess- und Plasma Kontrollsysteme sind sehr kompakte, präzise, modulare und flexible Tischgeräte.
Das PlasCalc-2000 Plasma Monitoring- und Prozess Kontroll-System basiert auf der optischen UV/VIS/NIR Emissions-Spektroskopie. Das System kann für alle produktionstechnischen Bedürfnisse flexibel programmiert werden.


Multichannel Film thickness and Endpoint Monitor PAS Plasma Analytics Systems GmbH -
- Rheingaustrasse 25 - 12161 Berlin, Deutschland

Dr. Friedhelm Heinrich, email, Tel.

The PAS Plasma Analytics Systems GmbH is a young, technology oriented company that has been established as a specialist for optical measuring systems for users in industry and research. Our starting point and key competence is a profound knowledge and experience in plasma-based technologies such as dry etching and deposition for microelectronics and for flat panel display technology.
Produkt:
MPM2S Dual Spectrometer - Process Monitor ; MPM1S/4 Spectrometer - Multichannel Process Monitor
MPM16 Multichannel Process Monitor
MPMXS4 Multichannel Film thickness and Endpoint Monitor: 4-channel spectroscopic process monitor for spatially resolved film thickness and rate measurement in dry and wet etching, end point detection, optical emission spectroscopy, chemical analysis


Sigma Instruments - In-Situ Raten and Schichtdickenmessung Schaefer Technologie GmbH -
- Robert-Bosch-Str. 31, 63225 Langen, Deutschland

email, Tel.

Die Schaefer Gruppe ist seit 1963 im Vertrieb von wissenschaftlichen Geräten und Messgeräten tätig.
Produkte:
Sigma Instruments - In-Situ Raten and Schichtdickenmessung & -Regelung mittels QCM Sensoren

Die Schwingquartz-Methode ist in der Oberflächenbeschichtungstechnik das am häufigsten angewandte Prinzip zur Messung und Regelung von Schichtdicken und Beschichtungsraten. Die Schichtdicken Mess- & Regelgeräte von Sigma Instruments arbeiten nach diesem Messverfahren und erlauben die Einstellung sowie Speicherung der für den Beschichtungsprozess relevanten Prozessparameter. Darüber hinaus gestatten zahlreiche LabView Applikationen sowie frei programmierbare RS 232 Schnittstellen die Integration in bereits bestehende Prozessstrukturen.




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