Turbomolekularpumpe

Geschichte

• Die Turbomolekularpumpe, wie sie erstmals 1958 von Willi Becker beschrieben wurde, basiert auf den Molekularpumpen, die von Wolfgang Gaede im Jahr 1913, von Holweck 1923 und von Siegbahn 1944 entwickelt wurden. Vor dem Aufkommen der Turbomolekularpumpen, waren Diffusionspumpen die einzige Möglichkeit ein Hochvakuum zu erreichen.
  Turbomolekularpumpen bestehen, ähnlich wie axiale Turbokompressoren, aus einem Stapel von Scheiben mit Schaufeln, wobei sich rotierende Scheiben (Rotoren) und feststehende Scheiben (Statoren) abwechseln.

Funktionsprinzip

• In Turbomolekularpumpen (TMP) werden die Gasmoleküle durch wiederholte Kollisionen mit schnell rotierenden Schaufeln in die gewünschte Richtung bewegt, vom Einlass der Pumpe zum Auslass.
  Die Turbomolekularpumpe arbeitet nur dann effizient, wenn der Auslassdruck unter 1 mbar liegt. Sie wird daher mit einer Vorpumpe kombiniert, die den Abtransport bis auf Atmosphärendruck gewährleistet.
  In Kombination mit einer Vorpumpe sind TMPs in der Lage, ein Ultrahochvakuum bis zu 10E-10 Pa zu erreichen.

 

 

 

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