Sputterquellen

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Magnetron Sputtering        Sputter-Kathode, Magnetronquelle

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COPRA Plasmaquellen CCR GmbH Beschichtungstechnologie -
- Camp-Spich-Strasse 3a, 53842 Troisdorf, Deutschland

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CCR GmbH, Beschichtungstechnologie ist ein Hersteller für induktiv gekoppelte RF-Plasmaquellen für fortschrittliche Thin-Film Beschichtungen und Plasma.
Produkte:   COPRA Plasmaquellen


FHR FHR Anlagenbau GmbH -
Am Hügel 2, 01458 Ottendorf-Okrilla, Deutschland

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Produkte:   Sputterquellen, Magnetronquellen

Doppelring-Magnetronquellen sind rotationssymetrische planare Quellen, die aus einer inneren Scheibe und einem äußeren Ring bestehen.

Durch den Einsatz von Doppelring-Magnetrons wird es möglich, größere Substratdurchmesser (oberhalb 100 mm) mit einer hohen Schichtdickenhomogenität stationär zu beschichten:
- Substratgröße 6" bei stationärer Beschichtung
- DC, HF, MF - Sputtern,
- Targets elektrisch leitend oder isolierend,
- Getrennte Magnetfeldregelung,
- integrierter Gaseinlaß.


ROBEKO Beschichtungsquellen ROBEKO -
- Ackerwiese 14, 67728 Munchwiler, Deutschland

Rolf Schaefer, email, Tel.

Der Eigentümer verfügt über 15 Jahre Erfahrung in Konstruktion, Herstellung und Verkauf von Komponenten der Vakuum- und Dünnschichttechnik.
Produkte:   Beschichtungsquellen, Sputtermagnetrons

Reaktivgaskontrolle, Plasmastromversorgungen, Beschichtungsmaterialien, Sputtertargets, Aufdampfmaterialien




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